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AB-13質(zhì)量流量控制器常用解決方案「曉韜科技」

2021-06-21







質(zhì)量流量計簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量：

以單位時(shí)間內流過(guò)某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標準狀態(tài)下的 體積/分鐘 來(lái)表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標準）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標準）. 標準狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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質(zhì)量流量計的原理

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目前，國內使用較為廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量計。

其原理如下：“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí)，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來(lái)測定流量?！保ǜ剑簈m=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統）與周?chē)h(huán)境熱交換系統之間的熱傳導系數； K -------儀表常數）



質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱(chēng)MFC)，它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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